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王友年
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Professor Supervisor of Doctorate Candidates Supervisor of Master's Candidates
Research Projects
电子加热法离子引出理论模拟和试验验证, 2022/04/27-2023/07/14, 结题
半导体反应器中等离子体机理和关键应用研究, 2021/09/08-2023/07/14, 结题
等离子体诊断服务合同, 2021/12/22-2024/07/02, 结题
面向PECVD非晶硅镀膜装备的等离子体实验诊断平台搭建及关键技术研发项目, 2022/11/01, 在研
面向PECVD非晶硅镀膜装备的等离子体数值模拟研发项目, 2022/11/01, 在研
吸气式电推进系统放电等离子体仿真研究, 2022/12/22, 在研
面向PECVD工艺的等离子体源优化设计和前驱反应物种与空间均匀性的仿真模拟, 2022/06/30-2024/09/14, 结题
等离子体刻蚀机结构与工艺优化仿真, 2023/09/13, 在研
等离子体测试诊断及仿真, 2023/11/29, 在研
COMSOL等离子体仿真建模, 2025/02/15, 在研
面向半导体刻蚀工艺的射频技术研发及射频电源设备测试平台研制, 2025/01/01, 在研
等离子体实验诊断与数值仿真技术服务合同, 2022/08/02-2024/12/16, 结题
面向PECVD工艺的等离子体源优化设计和前驱反应物种与空间均匀性的仿真模拟（二期）, 2023/08/30-2024/12/10, 结题
感性耦合等离子体流体模型快速模拟软件, 2023/12/30, 在研
矩形大面积射频等离子体源的开发, 2023/07/30, 在研
圆形射频等离子体源的开发, 2023/07/30, 在研
材料DLZ腐蚀表征平台2.0技术合作项目, 2024/05/10, 在研
射频等离子体特性研究, 2024/04/30, 在研
线形RPS 等离子体仿真, 2023/12/20, 在研
等离子体反应腔室的多场耦合模型建立及实验验证, 2009/12/02-2012/12/31, 结题
高能高电荷态离子引起物质强电离激发过程研究, 2009/08/21-2014/08/31, 结题
HL-2A强流中性束加热关键技术研究, 2010/03/30-2013/03/31, 结题
甚高频放电下大面积容性耦合等离子体的电磁效应, 2013/09/25, 结题
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